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                      DS300C質量流量控制器
                  
    
                    
                
    
              
           
            
    
            
    
              
    
                
    DS300C質量流量控制器
    
                
    產品型號:DS300C
    
                
    負責人:張雅麗
     
                
    QQ:827928594
    
                
    手機:13937153969
    
                
                
              
    
            
    
          
    
          
    
            
    產品詳情
    
            
    
              
    DS300C質量流量控制器
    DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小，精度高，響應速度快，壓力不敏感的特點，產品suo有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。
    優勢
    ? 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
    ? 響應速度快，響應時間≤ 0.5sec。
    ? 采用基于壓力原理的流量傳感器技術，使產品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
    ? DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理，完全符合SEMI標準要求。
    技術參數
    DS300C
    類型
    DS300C
    閥類型
    常閉
    流量規格(N2)
    (0～30,50,100,200,300,500)  SCCM
    (0～1,2,3,5,10)            SLM
    準確度
    ±1% S.P. (≥10% F.S.)       
    ±1% F.S. (＜10% F.S.)       
    線性
    ±0.5% F.S.
    重復精度
    ±0.2% F.S.
    響應時間
    ≤ 0.5sec            
    進口壓力
    240～450KPa 流量規格≤5SLM
    350～450KPa  流量規格＞5SLM
    出口壓力
    ≤1.2KPa    流量規格≤5SLM
    ≤13.3KPa  流量規格＞5SLM
    溫度系數
    零點：≤±0.02% F.S./℃；
    調節時：≤±0.1% F.S./℃
    耐壓
    3 MPa
    漏率
    1×10-11 Pa·m3 / sec He
    密封材料
    金屬密封
    z大工作壓力
    0.45MPa
    工作環境溫度
    （10～45）℃
    輸入信號
    數字：RS485 或 DeviceNet
    模擬：(0～5)VDC
    輸出信號
    數字：RS485 或 DeviceNet  
    模擬：(0～5)VDC
    零漂
    在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年
    電源
    ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
    表面化學成分
    Cr/Fe比例≥2.0；
    CrO 厚度≥20 （埃）
    表面粗糙度
    Ra  5μinch
    標準接頭形式
    VCR1/4陽接頭；
    1.125″C型密封接頭；
    1.125″W型密封接頭；
    Compression Fittingφ6
    電源接頭形式
    D型9針陽接頭；
    D型15針陽接頭；
    DeviceNet接頭
    重量
    1.2Kg

                
    
          
    
           
    
                
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