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    EM01-RD 多入射角激光橢偏儀

    EM01-RD 多入射角激光橢偏儀

    產品型號:EM01-RD

    負責人:趙德廠

    QQ:1835050279

    手機:13523060866

    產品詳情

    特別聲明:

    EM01-RD多入射角激光橢偏儀(研發)已升至EMPro31 型多入射角激光橢偏儀,主要升內容包括:

    單次測量速度提高3倍;

    新的儀器外形;

    整體穩定性增強.

    納米薄膜高端研發領域的多入射角激光橢偏儀,用于納米薄膜的厚度、折射率n、消光系數k等參數的測量。適用于光面或絨面納米薄膜測量、塊狀固體參數測量、快速變化的納米薄膜實時測量等不同的應用場合。采用量拓科技多項技術,儀器操作具有個性化定制功能,方便使用。

    特點:

    高精度、高穩定性

    一體化集成設計

    快速、高精度樣品方位對準

    多入射角度測量

    快速反應過程的實時測量

    操作簡單

    豐富的材料庫及物理模型

    強大的數據分析和管理

    應用領域:

    可對納米薄膜層構樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數k進行快速、高精度、高準確度的測量,尤其適合于科研和工業產品環境中的新品研發

    可用于表征單層納米薄膜、多層納米層構膜系,以及塊狀材料(基底)。

    應用領域涉及納米薄膜的幾乎領域,如微電子、半導體、集成電路、顯示技術、太陽電池、光學薄膜、生命科學、電化學、磁介質存儲、聚合物及金屬表面處理等。

    性能保證:

    高穩定性的He-Ne激光光源、高精度的采樣方法以及低噪聲探測技術,保證了系統的高穩定性和高準確度

    .高精度的光學自準直望遠系統,保證了快速、高精度的樣品方位對準

    穩定的結構設計、可靠的樣品方位對準,結合采樣技術,保證了快速、穩定測量

    分立式的多入射角選擇,可應用于復雜樣品的折射率和相對厚度的測量

    一體化集成式的儀器結構設計,使得系統操作簡單、整體穩定性提高,并節省空間

    軟件方便納米薄膜樣品的測試和建模。

    技術指標:

    激光波長

    632.8nm (He-Ne laser)

    膜厚測量重復性

    0.01nm (對于Si基底上110nm的SiO2膜層)

    折射率精度

    1x10-4(對于Si基底上110nm的SiO2膜層)

    光學結構

    PSCA

    激光光束直徑

    <1mm

    入射角度

    40°-90°可選,步進5°

    樣品方位調整

    三維平移調節

    二維俯仰調節

    光學自準直系統對準

    樣品臺尺寸

    Φ170mm

    單次測量時間

    0.2s

    推薦測量范圍

    0-6000nm

    大外形尺寸(長x寬x高)

    887 x 332 x 552mm (入射角為70º時)

    儀器重量(凈重)

    25Kg

    可選配件:

    NFS-SiO2/Si二氧化硅納米薄膜標片

    NFS-Si3N4/Si氮化硅納米薄膜標片

    VP01真空吸附泵

    VP02真空吸附泵

    樣品池

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