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| SC630型全自動橢圓偏振光譜儀是單色儀分光連續(xù)波長、入射角自動控制的全自動橢圓偏振光譜儀。儀器采用上特有的高穩(wěn)定度的移相器大大提高了儀器測量的靈敏度,消除了整個波長范圍的橢偏角度測量盲點。寬范圍、高精度的入射角自動控制系統(tǒng)滿足了用戶分析錯綜復(fù)雜樣品的檢測和分析需求。既可以適合于各科研院所對介電、半導體、金屬、有機物等各種材料的光學特性、結(jié)構(gòu)特征、生長過程和材料質(zhì)量的快速測試,也可以對更多未知材料開展研究工作。 |
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| 0-360°度測量Delta參數(shù)圖譜 |
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性能參數(shù): |
| 型號 | SC630V | SC630UV | SC630UVN |
| 光源 | 氙燈 | 氙燈 | 氙燈 |
| 波長范圍 | 350-850 nm | 250-1100 nm | 250-1700 nm |
| 波長精度 | 1 nm | 1 nm | 1 nm |
| 光斑直徑 | 1-3 mm | 1-3 mm | 1-3 mm |
| 入射角范圍 | 20° to 90°,自動控制 | 20° to 90°,自動控制 | 20° to 90°,自動控制 |
| 入射角控制精度 | 0.01° | 0.01° | 0.01° |
| 橢偏參數(shù)準確性 | tg(Psi)≤0.003 cos(Delta)≤0.00001 |
tg(Psi)≤0.003 cos(Delta)≤0.00001 |
tg(Psi)≤0.003 cos(Delta)≤0.00001 |
| 樣品臺尺寸 | Ø160 mm | Ø160 mm | Ø160 mm |
| 主要特點: | |
| 1. | 移相器的應(yīng)用消除了全波段范圍內(nèi)的測量盲點 |
| 2. | 寬范圍、高精度入射角度控制為用戶提供了全方位的探索和研究需求 |
| 3. | 只需輕松點擊鼠標即可到需要的入射角 |
| 4. | 強大的數(shù)據(jù)分析功能 |
| 5. | 允許用戶自定義色散模型 |
| 6. | 全波長多角度同時數(shù)據(jù)擬合,EMA模型用于多成分化合物和表面粗糙度分析 |
| 7. | 具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能 |
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選配件: |
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| 1. | CCD線陣列探測元件 |
| 2. | 樣品顯微鏡 |
| 3. | 高穩(wěn)定性消色差補償器 |
| 4. | 透射測量架 |
| 5. |
XY移動樣品臺 |