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HTS-100型四探針溫控測試系統
測試樣品電阻率、方塊電阻、電阻在不同溫度時的數值,并繪出數值隨溫度變化的曲線;
當不使用溫控功能測試時,可用作常規四探針測試;
HTS-100型四探針溫控測試系統主要用于材料在不同溫度時導電性能的評估和測試,分析被測樣品電阻率、方塊電阻、電阻隨溫度變化的數據和曲線。該儀器運用四探針測量原理,按照四探針測試方法的國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的。
儀器由四探針測試儀、溫控系統、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了z新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對材料的電阻性能測試。
HTS-100型四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據,把采集到的數據在計算機中加以分析,然后把測試數據以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數據輸出到Excel中,讓用戶對數據進行各種數據分析

技 術 指 標 :
測量范圍 | 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展); |
溫控范圍 | 常溫~100℃(可擴展) |
溫控精度 | ±1℃ |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續可調 |
數字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; |
四探針探頭基本指標 | 間距:1±0.01mm; |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3% |
整機測量z大相對誤差 | (用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機測量標準不確定度 | ≤4% |
測試標準和方式 | 可選用單電測測試方法或雙電測測試方法兩種方法進行溫控測試,當不使用溫控功能測試時,可用作常規四探針測試。 |
軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據,并統計分析測試數據z大值、z小值、平均值、z大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成隨溫度變化的曲線圖,也可把測試數據輸出到Excel中,對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
標準使用環境 | 無高頻干擾; |