南北儀器專業(yè)提供實驗室儀器設(shè)備一站式解決方案
產(chǎn)品型號:HTS-100
負(fù)責(zé)人:張雅麗
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HTS-100型四探針溫控測試系統(tǒng)
測試樣品電阻率、方塊電阻、電阻在不同溫度時的數(shù)值,并繪出數(shù)值隨溫度變化的曲線;
當(dāng)不使用溫控功能測試時,可用作常規(guī)四探針測試;
HTS-100型四探針溫控測試系統(tǒng)主要用于材料在不同溫度時導(dǎo)電性能的評估和測試,分析被測樣品電阻率、方塊電阻、電阻隨溫度變化的數(shù)據(jù)和曲線。該儀器運用四探針測量原理,按照四探針測試方法的國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的。
儀器由四探針測試儀、溫控系統(tǒng)、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數(shù)據(jù)由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了z新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對材料的電阻性能測試。
HTS-100型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

技 術(shù) 指 標(biāo) :
測量范圍 | 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展); |
溫控范圍 | 常溫~100℃(可擴展) |
溫控精度 | ±1℃ |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±0.01mm; |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3% |
整機測量z大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±4% |
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
測試標(biāo)準(zhǔn)和方式 | 可選用單電測測試方法或雙電測測試方法兩種方法進(jìn)行溫控測試,當(dāng)不使用溫控功能測試時,可用作常規(guī)四探針測試。 |
軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)z大值、z小值、平均值、z大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成隨溫度變化的曲線圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 無高頻干擾; |