CS200-D?質量流量控制器&流量計

CS200-A

CS200-C

CS200-D

閥類型

常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)

或常閉

無

常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)

或常閉

無

常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM)

或常閉

無

流量規(guī)格(N2)

(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

準確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作壓差范圍

0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa 10＜流量規(guī)格≤30SLM
0.2～0.45MPa 30＜流量規(guī)格≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa
流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa
流量規(guī)格＞10SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa
流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa
流量規(guī)格＞10SLM

＜0.02 MPa

z大工作壓力

0.45MPa

溫度系數(shù)

零點： ≤±0.05% F.S./℃；
調節(jié)時： ≤±0.1% F.S./℃ 流量規(guī)格≤30SLM
調節(jié)時： ≤±0.2% F.S./℃ 流量規(guī)格＞30SLM

零點： ≤±0.02% F.S./℃；
調節(jié)時： ≤±0.05% F.S./℃

耐壓強度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡膠

金屬密封

工作環(huán)境溫度

（5～45）℃

（0～50）℃

輸入信號

數(shù)字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

無

數(shù)字： RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus或 EtherCAT
模擬：(0～5)VDC
或(4～20)mA
或(0～20)mA

無

數(shù)字： RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus或 EtherCAT
模擬：(0～5)VDC
或(4～20)mA
或(0～20)mA

無

輸出信號

數(shù)字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT
模擬：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

零漂

在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年

電源

±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)

表面化學成分

常態(tài)

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）

常態(tài)

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

標準接頭形式

雙卡套 φ6；雙卡套 1/4′′；雙卡套 3/8′′；VCR1/4′′陽接頭；雙卡套φ3；
雙卡套 1/8′′；VCO 1/4";φ6(內)x1 軟管接頭; φ5(內)x1.5 軟管接頭；
φ4(內)x1 軟管接頭;雙卡套φ10mm；A 型密封接頭;

雙卡套φ3；雙卡套φ6；雙卡套 1/4；VCR1/4 陽接頭；
1.5′′C 型密封接頭;1.5′′ W型密封接頭

電源接頭形式

D 型 9 針陽接頭；D 型 15 針陽接頭；DeviceNet 接頭； ProfiBus 接頭；模擬接頭

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg