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    TH-135-3P -135℃水汽捕集泵

    TH-135-3P -135℃水汽捕集泵

    產品型號:TH-135-3P

    負責人:張先生

    QQ:380888081

    手機:13837159053

    產品詳情

     -135水汽捕集泵,超低溫捕集泵,深冷泵,快速循環水汽冷凍機POLYCOLD
       -135℃ Water vapor cryopump
     
    應用原理:
        在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且殘余氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上+選擇。
        深冷泵的工作原理:將一個能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環境(真空度可提高半個數量,達到10-8 Torr、10-5 Pa)。

     

    型號
    TH-135-3P
    TH-135-5P
    TH-135-7P
    TH-135-10P
    TH-135-12P
    TH-135-15P
    壓縮機功率(KW)
    2.8
    4.6
    6.3
    8.5
    10.1
    12.3
    工作溫度(℃)
    -100-140
    抽氣速度(l/s)
    30600
    51000
    73000
    101000
    153000
    250000
    制冷量(W)
    300
    500
    1200
    1800
    2500
    3500
    冷凝管表面積(m2)
    0.15
    0.3
    0.5
    0.7
    1.0
    2. 0
    冷凝管長度
    8m,φ6mm
    10m,φ10mm
    12m,φ12mm
    14m,φ16mm
    24m,φ16mm
    40m,φ16mm
    預冷時間(min)
    ≤30
    ≤30
    ≤30
    ≤30
    ≤40
    ≤40
    降溫時間(min)
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤6
    ≤7
    除霜時間(min)
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    ≤3
    再降溫時間(min)
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤5
    ≤6
    ≤6
    適用油擴散泵徑(mm)
    ≤300
    ≤500
    ≤800
    ≤1000
    雙路輸出
    雙路輸出
    冷卻方式
    風冷、水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    水冷(t≤30℃)
    適用腔體直徑(mm)
    ≤900
    ≤1300
    ≤1500
    ≤1700
    ≤2000

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