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    NBD-O1200-XT22 CVD系統(tǒng)O1200-XT22D2F

    NBD-O1200-XT22 CVD系統(tǒng)O1200-XT22D2F

    產(chǎn)品型號:NBD-O1200-XT22

    負責人:周貝貝

    QQ:707171058

    手機:13526881466

    產(chǎn)品詳情

    設(shè)備簡介:

    化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學等領(lǐng)域。

    配置詳情:




    NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,非線性式樣溫度修正;


    產(chǎn)品型號

    NBD-O1200-XT22(爐管直徑50、60、80、100mm可選)


    工作溫度

    ≤1150℃

    加熱區(qū)尺寸

    200mm+200mm(雙溫雙控)

    升溫速率

    ≤20℃/min

    電氣規(guī)格

    AC 220V  4KW

    氣體系統(tǒng)(可選購)

    流量計類型

    浮子流量計

    質(zhì)量流量計

    管道示意圖

     

     

    進氣接口數(shù)量

    2、3、4(多路可選)

    流量范圍

    20-250/20-800ml/min(多量程可選)

    50/100/200sccm(多量程可選)

    工作壓差范圍

    0-0.15MPa

    低真空系統(tǒng)(可選購)

    真空泵型號

    NBD-1.5C

    NBD-3C

    NBD-4C

    抽氣速率

    1L/s

    3L/s

    4L/s

    進排氣口尺寸

    Φ8mm寶塔接頭

    Φ8mm寶塔接頭

    KF16/25

    壓力

    1000Pa

    100Pa

    10Pa

    工作溫度

    5-40℃

    電氣規(guī)格

    AC220V

    高真空系統(tǒng)(可選購)

    真空泵型號

    NBD-103(A)

    NBD-103(B)

    NBD-103(C)

    抽氣速率

    110L/s

    600L/s

    700L/s

    真空測量計

    復合真空計

    壓力

    10^-3Pa

    10^-4Pa

    10^-5Pa

    工作溫度

    5-40℃


    電氣規(guī)格

    AC 220V

    AC 220V

    AC 380V



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