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    六溫區(qū) CVD系統(tǒng)

    六溫區(qū) CVD系統(tǒng)

    產(chǎn)品型號:CVD系統(tǒng)

    負(fù)責(zé)人:周貝貝

    QQ:707171058

    手機(jī):13526881466

    產(chǎn)品詳情

    配置詳情:

     image.png

    1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管,耐腐蝕耐高溫;

    2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果好,降低設(shè)備功耗;

    3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝,自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋;

    4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對話模式,實(shí)時(shí)加熱功率顯示,非線性式樣溫度修正;實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。

    5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng),多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng);

    產(chǎn)品型號

    六溫區(qū)

    爐管尺寸

    ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm

    工作溫度

    ≤1150℃

    加熱區(qū)選擇

    (可定制)

    200mm*6

    300mm*6

    升溫速率

    ≤20℃/min

    電氣規(guī)格

    AC380V 12~18KW

    氣體系統(tǒng)(可選購)

    浮子或質(zhì)量流量計(jì)(MFC)

    管道示意圖

     image.png

    image.png 

    進(jìn)氣接口數(shù)量

    2、3、4(多路可選)

    流量范圍

    20-250/20-800ml/min......(多量程可選)

    50/100/200/500sccm......(多量程可選)

    工作壓差范圍

    0-0.15MPa

    低真空系統(tǒng)(可選購)

    真空泵型號

    NBD-3C/NBD-4C

    抽氣速率

    3L/s或4L/s

    進(jìn)排氣口尺寸

    KF16/25

    系統(tǒng)真空

    3~5Pa(真空泵真空6.2*10-2Pa)

    工作環(huán)境溫度

    5-40℃

    電氣規(guī)格

    AC220V

    高真空系統(tǒng)(可選購)

    真空泵型號

    NBD-103(B)

    抽氣速率

    600L/s

    真空測量計(jì)

    復(fù)合真空計(jì)

    系統(tǒng)真空

    6*10^-4Pa

    工作溫度

    5-40℃

    電氣規(guī)格

    AC 380V

     


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