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四溫區 CVD系統

產品型號:CVD系統

負責人:周貝貝

QQ:707171058

手機:13526881466

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產品詳情

配置詳情:

	1.采用高純石英或不銹鋼材質爐管，耐腐蝕耐高溫； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果好，降低設備功耗； 3.爐體采用雙層風冷結構工藝，自動抬升系統開啟上蓋； 4.NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自主生成，實驗數據無限次導出。 5.一體化設備包含多路供氣系統，多溫區加熱系統和高真空系統；
產品型號	四溫區
爐管尺寸	?25/?50/?60/?80/?100*1600mm
工作溫度	≤1150℃
加熱區選擇 (可定制）	200mm4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm4 300+400+400+300mm
升溫速率	≤20℃/min
電氣規格	AC380V 8~14KW
氣體系統（可選購）	浮子或質量流量計（MFC）
	管道示意圖
	進氣接口數量	2、3、4（多路可選）
	流量范圍	20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選)
	工作壓差范圍	0-0.15MPa
低真空系統（可選購）	真空泵型號	NBD-3C/NBD-4C
	抽氣速率	3L/s或4L/s
	進排氣口尺寸	KF16/25
	系統真空	3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa）
	工作環境溫度	5-40℃
	電氣規格	AC220V
高真空系統（可選購）	真空泵型號	NBD-103(A)
	抽氣速率	110L/s
	真空測量計	復合真空計
	系統真空	4.310^-3Pa
	工作溫度	5-40℃
	電氣規格	AC 220V