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                      NBD-T1700-80T22G3Z高溫高真空CVD一體機
                  
    
                    
                
    
              
           
            
    
            
    
              
    
                
    NBD-T1700-80T22G3Z高溫高真空CVD一體機
    
                
    產(chǎn)品型號:NBD-T1700-80T22G3Z
    
                
    負責人:周貝貝
     
                
    QQ:707171058
    
                
    手機:13526881466
    
                
                
              
    
            
    
          
    
          
    
            
    產(chǎn)品詳情
    
            
    
              
    設(shè)備簡介：
    NBD-CVD系列高溫爐整體采用制造工藝，根據(jù)人體安全的角度進行設(shè)計。控制數(shù)學(xué)模型采用PID自學(xué)習模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。經(jīng)過長期多次的各種試樣實驗驗證，可以適用于各種類型材料的焙燒。
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    技術(shù)參數(shù)： 

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     設(shè)備設(shè)備采用15.6英寸大尺寸全觸屏智能人機交互系統(tǒng)，高真空分子泵機組，無油渦旋真空泵作為前級泵，以及高精度氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)樣品在高精度氣體控制、高溫（Tmax：1650℃）條件下的智能化操作。
    產(chǎn)品型號
    NBD-T1700-80T22G3Z
    Z高溫度
    1700℃
    額定溫度
    		1650℃
    控溫精度
    ±1℃
    觸摸屏尺寸
    15.6英寸
    額定功率10KW
    傳感器類型
    B型
    推薦升溫速率
    ≤10/min
    爐管尺寸
    		?80*1200mm 
    真空度
    6×10-4Pa
    爐體外形凈尺寸
    		長1690×高1410×深765mm
     無油渦旋式干式真空泵  （前級泵，具有結(jié)構(gòu)簡單，密封性能好，真空高等特點。在應(yīng)用方面具有運行成本低、工作壽命長、可靠性高、噪音低等顯著特點）

         
    控制系統(tǒng)     


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    1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；2、可預(yù)約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié)；3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄；4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)；5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正。
    氣體系統(tǒng)（可選購）
    流量計類型
    浮子流量計
    質(zhì)量流量計
    管道示意圖
     
     
    進氣接口數(shù)量
    2、3、4（多路可選）
    流量范圍
    20-200/60-600l/min(多量程可選)
    50/100/200sccm(多量程可選)
    工作壓差范圍
    0-0.15MPa
    低真空系統(tǒng)（可選購）
    真空泵型號
    NBD-1.5C
    NBD-3C
    NBD-4C
    抽氣速率
    1L/s
    3L/s
    4L/s
    進排氣口尺寸
    Φ8mm寶塔接頭
    Φ8mm寶塔接頭
    KF16/25
    壓力
    1000Pa
    100Pa
    10Pa
    工作溫度
    5-40℃
    電氣規(guī)格
    AC220V
    分子泵高真空系統(tǒng)
    （可選購）
    分子泵系統(tǒng)型號
    NBD-103(A)
    NBD-103(B)
    NBD-103(C)
    抽氣速率
    110L/s
    600L/s
    700L/s
    真空測量計
    復(fù)合真空計
    壓力
    10^-3Pa
    10^-4Pa
    10^-5Pa
    工作溫度
    5-40℃
    電氣規(guī)格
    AC 220V
    AC 220V
    AC 380V

                
    
          
    
           
    
                
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