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NBD-T1700-80T22G3Z高溫高真空CVD一體機

產品型號:NBD-T1700-80T22G3Z

負責人:周貝貝

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產品詳情

設備簡介：

NBD-CVD系列高溫爐整體采用制造工藝，根據人體安全的角度進行設計。控制數學模型采用PID自學習模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。經過長期多次的各種試樣實驗驗證，可以適用于各種類型材料的焙燒。

技術參數：

	設備設備采用15.6英寸大尺寸全觸屏智能人機交互系統，高真空分子泵機組，無油渦旋真空泵作為前級泵，以及高精度氣體質量流量控制系統，可以實現樣品在高精度氣體控制、高溫（Tmax：1650℃）條件下的智能化操作。
產品型號	NBD-T1700-80T22G3Z
Z高溫度	1700℃
額定溫度	1650℃
控溫精度	±1℃
觸摸屏尺寸	15.6英寸
額定功率	10KW
傳感器類型	B型
推薦升溫速率	≤10/min
爐管尺寸	?80*1200mm
真空度	6×10-4Pa
爐體外形凈尺寸	長1690×高1410×深765mm
無油渦旋式干式真空泵（前級泵，具有結構簡單，密封性能好，真空高等特點。在應用方面具有運行成本低、工作壽命長、可靠性高、噪音低等顯著特點）
控制系統		1、燒結工藝曲線設置：動態顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置；2、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結；3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄；4、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態；5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。
氣體系統（可選購）	流量計類型	浮子流量計				質量流量計
	管道示意圖
	進氣接口數量	2、3、4（多路可選）
	流量范圍	20-200/60-600l/min(多量程可選)				50/100/200sccm(多量程可選)
	工作壓差范圍	0-0.15MPa
低真空系統（可選購）	真空泵型號		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽氣速率		1L/s		3L/s		4L/s
	進排氣口尺寸		Φ8mm寶塔接頭		Φ8mm寶塔接頭		KF16/25
	壓力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作溫度		5-40℃
	電氣規格		AC220V
分子泵高真空系統（可選購）	分子泵系統型號		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽氣速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空測量計		復合真空計
	壓力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作溫度			5-40℃
	電氣規格			AC 220V	AC 220V			AC 380V

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