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                      NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N 液氣CVD一體機
                  
    
                    
                
    
              
           
            
    
            
    
              
    
                
    NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N 液氣CVD一體機
    
                
    產品型號:NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N
    
                
    負責人:周貝貝
     
                
    QQ:707171058
    
                
    手機:13526881466
    
                
                
              
    
            
    
          
    
          
    
            
    產品詳情
    
            
    
              
    設備簡介：
    化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或納米材料的方法，是半導體工業中應用為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環保科學等領域；
    本設備基于新能源領域客戶需求，反應氣體包括易燃易爆及有毒有害氣體，及通過氣相發生器氣化的液體。多路質量流量計準確控制進氣量。高精度壓力傳感器、電磁閥、氣體檢測儀、報警器及尾氣處理罐。
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    技術參數： 

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    1.通過高精度氧分析儀確保無氧工作環境；
    2.物料在基于旋轉擺振結構的異形石英腔內，能夠在穩定均勻的溫場內，大程度地與反應氣體充分接觸；
    3.懸掛式氣相發生器，能夠在工作腔擺振的同時，始終保持水平穩定輸出；
    4.多路質量流量控制器，可準確控制氣體流量；
    5.高密封性連接工藝，可燃性氣體及有毒有害氣體無任何泄露，高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內的壓力始終在設定范圍；
    6.易燃易爆及有毒有害氣體檢測儀與設備聯動，可及時獲取實時數據并采取相應閉合措施，同時，兩個報警儀在超出設定警戒值時發出預警提示；
    7.工作腔室排出的尾氣通過尾氣處理罐進行無害化處理。
    產品型號
    NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N
    供電電源
    三相380V 50HZ
    控溫精度
    ±1℃
    額定功率8KW
    測溫元件類型
    K型熱電偶 250mm
    Z高溫度
    1100℃
    加熱溫區尺寸
    φ150*430mm
    爐管材質
    高純石英
    爐管容積
    5L
    樣品有效容積
    500ml
    傾斜角度
    -20度（出料）~3度（進料）
    爐管轉速
    0.1~12.6轉/每分鐘
    爐體尺寸
    長1550×深830×高1360mm（含乙炔報警器2160mm）
    推薦升溫速率
    10℃/min
    重量
    約260KG
    控制系統


    1、燒結工藝曲線設置：動態顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置；
    2、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結；
    3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄；
    4、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態；
    5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。


                
    
          
    
           
    
                
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