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NBD-T1500-200T66D6Z生產型一維材料制備CVD系統

產品型號:NBD-T1500-200T66D6Z

負責人:周貝貝

QQ:707171058

手機:13526881466

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產品詳情

配置詳情:

設備特點	1、六溫三控加熱系統，溫場分布更均勻； 2、高純硅碳棒加熱，Z高工作溫度1380℃，可滿足更多CVD領域需求； 3、六路質量流量計(MFC)氣體控制，同時設置有真空系統配合進出氣系統使用，可以實現自動抽真空-補氣循環流程，以Z快的速度排空腔體內部的氧氣； 4、電動開蓋系統，方便爐管的維護及更換； 5、4.3英寸彩色觸摸液晶屏，并支持多種工作模式的高精密注射泵，可以根據客戶需要選擇不同容積的針管進行試樣的注射；同時可以跟隨工藝曲線設置注射泵的開關，無需后期的人為操作，操作方便性提升； 6、PLC自動化控制系統集成了設備上的控制，包含加熱和各種動作都能夠在屏幕上進行操作，并且能夠跟隨工藝曲線設置不同的進氣和流量的設置，可以實現不同工藝下的快速組合，并且支持數據導出及預存和調用配方功能。
產品型號	NBD-T1500-200T66D6Z
供電電源	三相380V 50HZ
控溫精度	±1℃
額定功率	36KW
傳感器類型	S型熱電偶
溫度	1500℃
長期工作Z高溫度	1380℃
加熱元件	高純硅碳棒
溫區尺寸	2602401430mm
爐管材質	反應燒結碳化硅
注射泵供給速度	5-10ml/小時
推薦升溫速率	≤3℃/min（注意：超過Z大升溫速率可能會導致爐管斷裂）
爐管尺寸	內徑φ180mm，壁厚10mm，長2150mm
爐體外形尺寸	長3700×深1000×高1420mm
上蓋打開方式	電動開合 Z大角度45度
基于PLC控制單元的全觸屏智能人機交互系統	1、燒結工藝曲線設置：動態顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結； 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄； 4、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。
物料收集系統： 1、通過不銹鋼波紋管與碳化硅爐管相連，有效保護高溫工作中的碳化硅爐管； 2、高純石英觀察窗，可隨時觀察物料收集狀態； 3、手動閥和電磁閥雙重保障，確保出氣控制穩定運行； 4、收集腔室內部配置多孔收集板，可提高物料收集效率； 5、收集系統通過手輪調節與爐管的距離，并可通過旋轉與爐體保持一定角度，方便物料的取出。
高精密注射泵：采用4.3英寸彩色觸摸液晶屏，方便快速設置參數，多個指示燈清晰確認其工作狀態，支持多種注射器型號選擇，可適應不同實驗流量需求，高精度控制，并設有軟硬保護機制，支持注射、抽取等四種工作模式。內置RS485通訊，支持Modbus協議，寬范圍電源輸入，適應各種場合。單通道、雙通道、多通道可供選擇。
六路質量流量控制器（6MFC）混氣系統
重量	約660KG

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