南北儀器專業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備一站式解決方案
產(chǎn)品型號(hào):NBD-O1200-50T3GF
負(fù)責(zé)人:周貝貝
QQ:707171058
手機(jī):13526881466
設(shè)備簡介:
三溫區(qū)管式爐為滿足各類CVD工藝的要求,將多個(gè)溫區(qū)的控制儀表融合到了智能控制系統(tǒng)里邊,通過輕輕點(diǎn)擊觸摸屏即可完成參數(shù)設(shè)定。在滿足不同溫區(qū)梯度控制的同時(shí),還可將多個(gè)溫區(qū)設(shè)定為同一溫度點(diǎn),作為加長的單溫區(qū)使用。
配置詳情:
| 1. 雙層鋼結(jié)構(gòu); 2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,節(jié)約能源; 3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命; 4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度。 | |||||||||
產(chǎn)品型號(hào) | NBD-O1200-50T3GF | |||||||||
電氣規(guī)格 | AC380V 2KW+4KW+2KW | |||||||||
可達(dá)溫度 | 1200 ℃ (<1小時(shí)) | |||||||||
連續(xù)溫度 | 1100 ℃ (連續(xù)) | |||||||||
可達(dá)加熱速率 | ≤ 20 ℃/分鐘 | |||||||||
加熱區(qū)長度 | 200mm+400mm+200mm(三溫三控:每個(gè)溫區(qū)均可運(yùn)行) | |||||||||
爐管尺寸 | Φ50*1400mm | |||||||||
控制系統(tǒng) |
| 1.可預(yù)存15條溫度曲線,避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩; 2.實(shí)驗(yàn)過程更加直觀,操作更加便捷; 3.NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,非線性式樣溫度修正; 4.具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 | ||||||||
溫度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
加熱元件 |
| Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||||||||
密封系統(tǒng) |
|
|
| |||||||
真空度:≤10Pa(機(jī)械泵) | ||||||||||
壓力測(cè)量與監(jiān)控 | | 采用帶有減震油的機(jī)械壓力表,使壓力波動(dòng)時(shí)產(chǎn)生阻尼,減小指針來回?cái)[動(dòng)。 | ||||||||
供氣系統(tǒng) |
| 采用浮子流量計(jì)控制氣體流速,與設(shè)備一體化,方便控制,且出廠前已進(jìn)行漏氣測(cè)試工作。 | ||||||||
凈重 | 90KG | |||||||||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1. 設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2. 設(shè)備使用時(shí),爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa,以防止壓力過大造成設(shè)備損壞; 3. 真空下使用時(shí),設(shè)備使用溫度不得超過800℃。 4. 供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高,向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上須安裝減壓閥,建議在選購試驗(yàn)用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì)準(zhǔn)確安全。 5.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài); 6.高純石英管的長時(shí)間使用溫度≦1100℃ 7.加熱的實(shí)驗(yàn)時(shí),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa,須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) | |||||||||