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                      三溫區管式爐
                  
    
                    
                
    
              
           
            
    
            
    
              
    
                
    三溫區管式爐
    
                
    產品型號:多溫區管式爐
    
                
    負責人:周貝貝
     
                
    QQ:707171058
    
                
    手機:13526881466
    
                
                
              
    
            
    
          
    
          
    
            
    產品詳情
    
            
    
              
    設備簡介：
    多溫區CVD系統一體爐，供氣和真空系統靈活組合，滿足各類薄膜沉積，是半導體工業中應用為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術，包括大面積的絕緣材料，以及大多數金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環保科學等領域。 
    配置詳情：


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    1.采用高純石英或不銹鋼材質爐管，耐腐蝕耐高溫；
    2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，降低設備功耗；
    3.爐體采用雙層風冷結構工藝，自動抬升系統開啟上蓋；
    4.燒結工藝曲線設置：動態顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置；
    5、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結；
    6、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄；
    7、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態；
    8、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正 
    9.一體化設備包含多路供氣系統，多溫區加熱系統和高真空系統；
    產品溫區
    三溫區
    爐管尺寸
    ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm
    工作溫度
    ≤1150℃
    加熱區選擇
    (可定制）
    200mm*3
    200+300+200mm
    200+400+200mm
    300mm*3
    300+400+300mm
    升溫速率
    ≤20℃/s
    電氣規格
    AC380V 6~10KW
    氣體系統（可選購）
    浮子或質子
       
      
         管道示意圖


     
    進氣接口數量
    2、3、4（多路可選）
    流量范圍
    20-250/20-800ml/min......(多量程可選)
    50/100/200/500sccm......(多量程可選)
    工作壓差范圍
    0-0.15MPa
    低真空系統（可選購）
    真空泵型號
    NBD-3C/NBD-4C
    抽氣速率
    3L/s或4L/s
    進排氣口尺寸
    KF16/25
    系統真空
    3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa）
    工作環境溫度
    5-40℃
    電氣規格
    AC220V
    高真空系統（可選購）
    真空泵型號
    NBD-103(A)
    NBD-103(B)
    抽氣速率
    110L/s
    600L/s
    真空測量計
    復合真空計
    系統真空
    4.310^-3Pa
    6*10^-4Pa
    工作溫度
    5-40℃

    電氣規格
    AC 220V
    AC 380V


                
    
          
    
           
    
                
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