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                      微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐
                  
    
                    
                
    
              
           
            
    
            
    
              
    
                
    微波等離子體化學(xué)氣相沉積爐
    
                
    產(chǎn)品型號:WBMW-DLZ3
    
                
    負(fù)責(zé)人:趙德廠
     
                
    QQ:1835050279
    
                
    手機(jī):13523060866
    
                
                
              
    
            
    
          
    
          
    
            
    產(chǎn)品詳情
    
            
    
               產(chǎn)品應(yīng)用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強(qiáng)范圍寬、無內(nèi)部電極污染等性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學(xué)氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉(zhuǎn)化制氫、長余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結(jié)、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

    產(chǎn)品特點(diǎn)：
    
1.     垂直反應(yīng)器的設(shè)計(jì)可使等離子密度高；對稱的微波發(fā)生裝置，使產(chǎn)生的等離子環(huán)境更均勻。
    
2.     微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內(nèi)沒有內(nèi)部電極,可以避免電極放電所產(chǎn)生的污染,而且,它的運(yùn)行氣壓范圍比較寬,所產(chǎn)生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。
    
    技術(shù)參數(shù)：
    

    
    
        
    
            
            
    型號/model
    
                		
            
            
    WBMW-DLZ3
    
                		
        
    
        
    
            
            
    可加熱材料
    
                		
            
            
    非易燃易爆的任何材料
    
                		
        
    
        
    
            
            
    微波頻率
    
                		
            
            
    2.45GHZ±50MHz
    
                		
        
    
        
    
            
            
    加熱方式
    
                		
            
            
    純微波加熱
    
                		
        
    
        
    
            
            
    大功率/KW
    
                		
            
            
    3  (功率可調(diào))
    
                		
        
    
        
    
            
            
    高工作溫度/℃
    
                		
            
            
    1200
    
                		
        
    
        
    
            
            
    長期工作溫度/℃
    
                		
            
            
    ≤1100
    
                		
        
    
        
    
            
            
    溫度測試元件
    
                		
            
            
    微波場傳感器
    
                		
        
    
        
    
            
            
    控溫精度/℃
    
                		
            
            
    ±2
    
                		
        
    
        
    
            
            
    石英管尺寸(外徑/內(nèi)經(jīng)X長度)/mm
    
                		
            
            
    φ102/φ92x1000
    
                		
        
    
        
    
            
            
    真空系統(tǒng)配置（可選）
    
                		
            
            
    簡單機(jī)械泵抽真空和不銹鋼法蘭；
    
            10-1Pa    真空用高品質(zhì)機(jī)械泵及真空計(jì)；
    
            10-2Pa    真空用高品質(zhì)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵及真空計(jì)；
    
            10-3Pa    真空用高品質(zhì)機(jī)械泵、分子泵及真空計(jì)；
    
                		
        
    
        
    
            
            
    升溫速率(標(biāo)配)
    
                		
            
            
    50℃/min 可分 段加熱    300℃/min
    
                		
        
    
        
    
            
            
    外型尺寸(長x寬x高)/mm
    
                		
            
            
    1000´750´1830
    
                		
        
    
        
    
            
            
    微波泄漏量/    mW/㎝
    
                		
            
            
    ≤0.4
    
                		
        
    
        
    
            
            
    提供相關(guān)配件
    
                		
            
            
    高溫手套×1、中文說明書×1
    
                		
        
    
        
    
            
            
    保質(zhì)期
    
                		
            
            
    整機(jī)保修1年
    
                		
        
    
        

    

     
    

     
                
    
          
    
           
    
                
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